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上海新阳:KRF光刻胶配套的光刻机预计明年上半年开始中试

时间:2019-12-02 17:16   来源:公告

12月2日讯,上海新阳在互动平台表示,KRF光刻胶配套的光刻机已完成厂内安装开始调试,预计明年上半年开始中试。

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