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南大光电:先进光刻胶开发与产业化项目通过了专家组验收

时间:2021-07-29 19:11   来源:公告

7月29日讯,南大光电公告,公司承担的国家科技重大专项(02专项)“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”之“先进光刻胶产品开发与产业化”项目,今日收到项目综合绩效评价结论书,项目通过了专家组验收。

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