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晶瑞股份:公司顺利购得ASMLXT1900Gi型光刻机一台

时间:2021-01-19 20:47   来源:公告

晶瑞股份公告,经公司多方协商、积极运作,顺利购得ASMLXT1900Gi型光刻机一台,该设备可用于研发最高分辨率达28nm的高端光刻胶。该设备于2021年1月19日运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室。下一步,公司将积极组织相关资源,尽快完成设备的安装调试工作。本次公司采购的ASML光刻机设备的顺利交付,可以保障公司集成电路制造用高端光刻胶研发项目关键设备的技术先进性,对加快产品研发项目进度有积极影响。

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