彤程新材：拟投资ArF 高端光刻胶研发平台建设项目

彤程新材：拟在上海化学工业区内投资6.9853亿元建设“ArF高端光刻胶研发平台建设项目”，主要研究ArF湿法光刻胶工业化生产技术开发，通过建立标准化的生产及控制流程，提升高端光刻胶的质量控制水平，实现193nm湿法光刻胶量产生产；同时，逐步建立先进的集成电路及配套材料开发与应用评价平台。