25日讯，芯源微披露一季报，一季度实现营业收入2.88亿元，同比增长56.89%；净利润6597.74万元，同比增长103.55%；基本每股收益0.71元。报告期，半导体设备行业景气度持续，公司收入规模持续增长；公司销售收入增加及嵌入式软件产品退税到账款增加。注：2022年Q4净利5713.42万元，据此计算，2023年Q1净利环比增长15%。