上海新阳：ASML-1400光刻机已进入合作方场地

上海新阳（300236）3月8日晚间披露ASML-1400光刻机进展公告，该光刻机设备于今日已进入合作方北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司场地，后续将进行安装调试等相关工作。公司采购的ASML干法光刻机设备顺利交付，对加快193nmArF干法光刻胶产品开发进度有积极影响。