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机械设备-专用设备

芯源微公司简介

沈阳芯源微电子设备股份有限公司的主营业务是半导体专用设备的研发、生产和销售，主要产品有单片式湿法设备、光刻工序涂胶显影设备，公司已获得专利授权145项,其中发明专利127项;拥有软件著作权37项。